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ST-8000
產品型號 : ST-8000
 
尺寸 : 客製化
 
 
產品說明

能以0.2x0.2um的spot size量測到real pattern的channel內,並且以光學fitting運算方式做精準的膜厚量測。 複合功能:Contact angle、RS Meter、穿透率量測、CD線寬。

測量範圍:
"Measurement Wavelength Range:400 ~ 700 nm
Measurable Thickness Range:1000Å ~ 2.5μm (depending on material)
Spot Size:~0.2㎛ x0.2㎛ (50X)"

 
 
 
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