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  TOF-MEIS (Surface Analysis System)
 
 
 
 
 
 
 
TOF-MEIS (Surface Analysis System)
產品型號 : MEIS-K120
 
尺寸 : 客製化
 
 
產品說明

K-MAC世界專利技術

多層膜量測,能分析膜層結晶.濃度與活性化呈現,可依照材料特性搭配不同的離子.

採用TOF演算方式,能量小,非破壞性可直接於Real Sample上量測,Sample無汙染.

達到Real-time監控效果, 提升製程良率.

 

Specification

RF Plasma Ion Source  : H+,He+,Ne+.....

Accelation Energy           : 70~120ev

Depth Resolution           : 0.3nm

 
 
 
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