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TOF-MEIS (Surface Analysis System)
产品型号 : MEIS-K120
 
尺寸 : 客制化
 
 
产品说明
K-MAC世界专利技术
多层膜量测,能分析膜层结晶.浓度与活性化呈现,可依照材料特性搭配不同的离子.
采用TOF演算方式,能量小,非破坏性可直接于Real Sample上量测,Sample无污染.达到Real-time监控效果, 提升制程良率.
 
Specification
RF Plasma Ion Source : H+,He+,Ne+.....
Accelation Energy : 70~120ev
Depth Resolution: 0.3nm
 
 
 
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